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隨著社會的不斷進步，對電子產(chǎn)品的需求也是與日俱增，從而推動了半導體行業(yè)飛速發(fā)展。隨著制造工藝不斷進步，對空氣潔凈技術和溫濕度等環(huán)境參數(shù)的控帑3也是愈發(fā)嚴格。文章從潔凈室空調系統(tǒng)、空氣潔凈技術、熱濕處理、應用場合并結合工程實例進行闡述，對相關的工程設計和應用方案選擇進行探討。
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隨著社會的不斷進步，對電子產(chǎn)品的需求也是與日俱增，從而推動了半導體行業(yè)飛速發(fā)展。隨著制造工藝不斷進步，對空氣潔凈技術和溫濕度等環(huán)境參數(shù)的控帑3也是愈發(fā)嚴格。文章從潔凈室空調系統(tǒng)、空氣潔凈技術、熱濕處理、應用場合并結合工程實例進行闡述，對相關的工程設計和應用方案選擇進行探討。
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