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幾種不同的檢測方法 對(duì)CD-R和DVDR盤片的生產(chǎn)而言,了解盤片上預(yù) 刻槽的幾何形貌參數(shù)(深度和寬度)是非常重要的。目 前,存在三種完全不同的方法來檢測這類參數(shù),它們 是:原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM) 測量;衍射級(jí)次的評(píng)價(jià)(例如Steag ETA Optik公司的 ETA-FI檢測儀就是基于該原理而進(jìn)行檢測的);對(duì)零級(jí)
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