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為實(shí)現(xiàn)直線超聲電動機(jī)驅(qū)動的3-PRR并聯(lián)平臺的精確軌跡跟蹤控制,對其進(jìn)行了運(yùn)動學(xué)和動力學(xué)建模,并設(shè)計(jì)了基于模型和輪廓誤差的控制器。首先,根據(jù)并聯(lián)平臺的閉鏈約束條件,對并聯(lián)平臺進(jìn)行了運(yùn)動學(xué)分析。在此基礎(chǔ)上,對并聯(lián)平臺的各部件速度和加速度進(jìn)行了推導(dǎo),并獲得了相應(yīng)的雅可比矩陣,隨后基于虛功原理建立了平臺的動力學(xué)模型。最后,由切線近似法推導(dǎo)了平面三自由度輪廓誤差的轉(zhuǎn)化方法,并設(shè)計(jì)了基于模型和輪廓誤差的控制器。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,基于動力學(xué)模型和輪廓誤差的控制器可將X和Y軸的軌跡跟蹤誤差控制在15μm以內(nèi),提高了動平臺的軌跡跟蹤精度。