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提出了一種利用總積分散射(TIS)測(cè)量K9玻璃基片表面散射和體散射的實(shí)驗(yàn)方法。首先采用磁控濺射技術(shù)在基片表面沉積厚度為幾十nm的金屬Ag薄膜,然后將基片的表面和體區(qū)分開考慮,通過TIS測(cè)得了基片上下表面的均方根粗糙度,進(jìn)而求得基片的總散射和表面散射,最后計(jì)算得到了體散射。分別利用TIS和原子力顯微鏡(AFM)測(cè)量了3個(gè)樣品上表面所鍍Ag膜的均方根粗糙度,兩種方法所得的均方根粗糙度的數(shù)值相差不明顯,差值分別為0.08,0.11和0.09 nm,表明TIS和AFM的測(cè)量結(jié)果相一致。利用該方法測(cè)得3塊K9玻璃基片的總散射分別為6.06×10-4,5.84×10-4和6.48×10-4,表面散射介于1.25×10-4~1.56×10-4之間,由此計(jì)算得到的體散射分別為3.10×10-4,3.30×10-4和3.61×10-4。
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