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銅蒸氣激光反射鏡在非正入射的時(shí)候 ,兩個(gè)不同的偏振態(tài)之間會(huì)產(chǎn)生不同的相移。通過優(yōu)化設(shè)計(jì) ,在4 90～ 5 30nm之間p、s波獲得了 90°的相移 ,同時(shí)也使反射率在 99 998%以上。Ag層的厚度對于相移不敏感 ,并且當(dāng)其厚度大于一定值的時(shí)候 ,對反射率沒有影響。根據(jù)誤差分析 ,制備薄膜時(shí)其沉積速率精度控制在± 1%以下 ,在光譜范圍內(nèi)能達(dá)到± 15 2 8°的相移誤差 ,相移均在 5 0 4nm處附近存在有一個(gè)收斂值。折射率的變化控制在± 1%以下 ,在光譜范圍內(nèi)能達(dá)到± 12 77°的相移誤差。最外一層厚度變化± 1% ,其相移變化達(dá)到± 5 5°,2～ 5層和 9～ 16層對相移的影響也在 0 .5°之上 ,其余各層對相移影響非常的小。使用時(shí)的入射角控制在± 1°時(shí) ,在光譜范圍內(nèi)能達(dá)到± 2 .86°的相移誤差。在 5 30nm附近的波段對入射角不敏感。
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