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更新時(shí)間：2025.05.17
爐管工藝

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爐管工藝 引言 IC 行業(yè)所用的爐管目前主要是垂直式的（水平式的已經(jīng)很少用了） ，按使用 壓力不同分為常壓爐管和低壓爐管。常壓爐管主要用于熱氧化制程，熱退火， BPSG熱回流，熱烘烤，合金等諸方面。 低壓爐管則主要用于 LPCVD 沉積工藝， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用來(lái) 生成二氧化硅的。本篇主要介紹爐管的基本知識(shí)及有關(guān)工藝。 §1. 常壓爐管工藝 硅表面上總是覆蓋著一層二氧化硅，即使是剛剛解理的硅，在室溫下，只要 在空氣中一暴露就會(huì)在表面上形成幾個(gè)原子層的氧化膜。 當(dāng)我們把硅晶片暴露在 高溫且含氧的環(huán)境里一段時(shí)間之后， 硅晶片的表面會(huì)生長(zhǎng) （grow）一層與硅附著 性良好，且具有高度穩(wěn)定的化學(xué)性和電絕緣性的二氧化硅—— SiO2。正因?yàn)槎?化硅具有這樣好的性質(zhì)，它在硅半導(dǎo)體元件中的應(yīng)用非常廣泛。 根據(jù)不同的需要， 二氧化硅被用于

電熔剛玉工藝原理

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西安建筑科技大學(xué) 1 電熔剛玉工藝原理、應(yīng)用及研究現(xiàn)狀 摘要：電熔剛玉是氧化鋁在電弧爐中熔融后冷卻固化的產(chǎn)物，具有工藝簡(jiǎn)單、流 程短、產(chǎn)品成本低等優(yōu)點(diǎn)，其晶體結(jié)構(gòu)為 α-Al 2O3。電熔剛玉作為一種高檔耐火材 料，具有優(yōu)良的性能，原料可作為骨料和基質(zhì)生產(chǎn)不定形耐火材料，熔鑄剛玉磚 廣泛應(yīng)用于高溫窯爐和高溫冶金設(shè)備。根據(jù)不同的工藝要求可以得到電熔棕剛玉、 電熔亞白剛玉、電熔白剛玉、電熔致密剛玉、和電熔板狀剛玉等不同品種的電熔 剛玉。本論文首先介紹了不同品種電熔剛玉的生產(chǎn)工藝流程，其次概括了不同產(chǎn) 品在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用現(xiàn)狀，最后簡(jiǎn)要分析了電熔法目前存在的技術(shù)問(wèn)題。 關(guān)鍵詞： 電熔剛玉 生產(chǎn)工藝 熔鑄剛玉磚 應(yīng)用 引言 隨著近代工業(yè)的高速發(fā)展 ,石油、化工、冶金、航天航空等工業(yè)對(duì)耐火材料 (陶 瓷 )的技術(shù)要求不斷提高 ,其工況要求從原來(lái)的高溫高強(qiáng)度發(fā)展到既要求高溫高壓 , 又要求具有高抗震性

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