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提出了一種利用系統(tǒng)共振原理的壓電共振型隔膜氣泵。分析了共振泵的工作原理,建立了共振泵的動(dòng)力學(xué)模型,通過(guò)計(jì)算獲得影響共振泵輸出流量的主要因素。設(shè)計(jì)了共振泵樣機(jī),使用激光測(cè)微儀測(cè)得隔膜片的放大位移約是同一支撐條件下的壓電振子位移的5.3倍,設(shè)計(jì)了測(cè)量共振泵輸出流量的實(shí)驗(yàn)裝置。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試得到在不同的振動(dòng)彈簧剛度、調(diào)整彈簧片剛度和隔膜片剛度下輸出流量及其相應(yīng)的變化規(guī)律。實(shí)驗(yàn)測(cè)試表明:在輸入電壓為150 V、振動(dòng)彈簧片厚度為0.6 mm、調(diào)整彈簧片厚度為1.4 mm、剛性傳振活塞與隔膜片半徑比為0.5和共振頻率為230 Hz時(shí),輸出流量可以達(dá)到1 650 mL/min。
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