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研究了雙缸結(jié)構(gòu)的雙級滑閥真空的振動平衡,提出了定量平衡雙級滑閥真空泵振動的方法;運用最小二乘法獲得多級平衡配重的關(guān)鍵參數(shù),精確平衡雙級滑閥真空泵的不平衡慣性力。以2H-150滑閥真空泵為例進行振動平衡,平衡后的剩余慣性力減至1500N以內(nèi),振動力降幅達到80%左右;應(yīng)用多級平衡配重方法所設(shè)計的真空泵在松地腳螺釘時的最大振幅僅為0.13mm。因此,針對雙級滑閥泵振動的平衡計算方法是行之有效的,可使泵的振動在很小的范圍內(nèi)。
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