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對(duì)于潔凈室而言 ,恒定送風(fēng)量 ,正壓控制 ,末端過(guò)濾器的選擇是達(dá)到室內(nèi)潔凈度的關(guān)鍵。采用變頻風(fēng)機(jī)送風(fēng)是比較節(jié)能的送風(fēng)方案 ;調(diào)節(jié)新、回風(fēng)比能很好的控制正壓末端過(guò)濾器的選擇與所要達(dá)到的潔凈度相符
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第 7章 潔淨(jìng)室之空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與能源消耗分析 7.1 前言 因?yàn)殡娮庸I(yè)對(duì)於潔淨(jìng)室的需求,再加上潔淨(jìng)室機(jī)器所散發(fā)大量的熱量, 需要處理大量的外氣,且全年24小時(shí)都再運(yùn)作的情形下,其所造成的耗能是相 當(dāng)大的 在此我們就以幾種不同的空調(diào)箱及其不同的搭配種類(lèi)來(lái)加以討論。 。 7.2 應(yīng)用計(jì)算實(shí)例 某300mm DRAM 廠(chǎng)潔淨(jìng)室實(shí)際設(shè)計(jì)參數(shù)作為案例分析如下 諸元 外氣條件 31℃ DB, RH= 80% 室內(nèi)條件 23℃ DB, RH= 45% 潔淨(jìng)室面積 11,182m2 潔淨(jìng)室高度 3.5m 作業(yè)人數(shù) 500 循環(huán)量 6,543,000CMH 熱排氣 498,120CMH 酸排氣 30,540CMH 鹼排氣 33,5400CMH 有機(jī)氣體排氣 59,880CMH 製程設(shè)備負(fù)載 7,367KW 本廠(chǎng)使用的空調(diào)系統(tǒng)構(gòu)型為抽風(fēng)式外氣空調(diào)箱(MAU) 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器、 (FFU)以及
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