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藍(lán)色減反射膜，作為一種先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)應(yīng)用，被廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)設(shè)備中，如眼鏡、相機(jī)鏡頭、顯示器等。這種薄膜技術(shù)的主要目的是減少光的反射，提高光學(xué)設(shè)備的透光率和清晰度。通過在光學(xué)表面鍍上一層或數(shù)層厚度為光波長幾分之一的薄膜，可以改變光的反射和透射性質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)減反射的效果。
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在Si襯底GaN基藍(lán)光LED芯片上生長了一層SiON鈍化膜,使器件的光輸出功率提高12%且有效降低了器件在老化過程中的光衰。對有、無鈍化膜的樣品進(jìn)行性能比較,結(jié)果表明SiON鈍化膜能有效隔離環(huán)氧樹脂與高溫芯片,緩解環(huán)氧樹脂的老化變黃;又能部分弛豫環(huán)氧樹脂對芯片的張應(yīng)力,降低非輻射復(fù)合中心產(chǎn)生的幾率;有效減小器件的側(cè)壁漏電通道,降低器件的光衰和漏電流,提高器件的可靠性。
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