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本文利用透射電子顯微鏡和原子力顯微鏡研究了金屬玻璃樣品在離子束作用后形成的厚度起伏特征。采用高分辨透射電鏡和能譜分析結果表明金屬玻璃樣品中沒有發(fā)生明顯的結構和成分的變化。利用離子束與樣品表面作用過程的粗化機理解釋了出現(xiàn)這種特征厚度起伏的原因。這種厚度起伏是由材料本身性質和實驗條件共同決定的。通過研究離子束與樣品的作用方式,有利于確定合適的透射電鏡樣品制備方法,有助于利用透射電鏡研究非晶樣品的微觀結構。
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