激光玻璃
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我國首條光刻用石英玻璃基板成套生產(chǎn)線建成
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近日,中國建材總院石英院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術(shù),在衢州建立了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進(jìn)口的局面。該生產(chǎn)線的建立,是中國建材總院承擔(dān)的"十二五"國家科技支撐計劃"高性能石英玻璃、微晶
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