激光玻璃
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我國首條光刻用石英玻璃基板成套生產線建成
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近日,中國建材總院石英院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術,在衢州建立了國內首條從基板原材料制造到產品加工的成套生產線。該生產線可年產20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及產品長期依賴進口的局面。該生產線的建立,是中國建材總院承擔的"十二五"國家科技支撐計劃"高性能石英玻璃、微晶
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