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拋光墊表面溝槽是決定拋光墊性能的重要因素之一。介紹了拋光墊表面溝槽的形狀、尺寸和傾斜角度等因素對拋光過程的影響規(guī)律,認為:負螺旋對數(shù)型溝槽拋光墊的性能最佳,溝槽的深度和寬度會影響加工區(qū)域拋光液的平均駐留時間、混和效率及成分,溝槽的傾斜角度也會影響拋光效率,-20°傾斜角拋光墊的拋光效率最高。
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雙槽虹吸式SBR潷水器由1個漂浮的潷水堰槽、1個出水水封槽及2根∏字型虹吸管組成。潷水堰槽上安裝有2個浮子,使其漂浮在水上,并隨SBR池內(nèi)水位變化而上下移動。堰頂水深保持在50~100 mm。排水時將水面表層澄清水撇入潷水堰槽。潷水堰槽用虹吸管與SBR排水井中的出水水封槽連通,排水利用虹吸作用由潷水堰槽經(jīng)虹吸管和出水水封槽流入排水井。虹吸管用軸承固定在池壁上,隨漂浮的潷水堰槽上下而擺動。兩槽與虹吸管之間用可輕松轉(zhuǎn)動的軸連接,只有輕微的摩擦。該潷水器是浮堰虹吸式潷水器的改進型,省去了其中的自動調(diào)節(jié)機構。