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設(shè)計了一款差壓式氣體流量控制器，并對節(jié)流元件進行了仿真分析。該控制器主要由比例電磁閥、節(jié)流元件、差壓傳感器、溫度傳感器組成。差壓傳感器檢測節(jié)流元件兩端的氣壓差并轉(zhuǎn)換成電信號，經(jīng)電路處理后換算成流量值，通過檢測流量與設(shè)定流量比較產(chǎn)生的差值信號控制比例電磁閥的開度，從而達到控制氣體流量的目的。該控制器經(jīng)試驗驗證可以精確控制氣體的流量，已成功應(yīng)用在實驗室分析儀器上。
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