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主要介紹了雙色碲鎘汞紅外焦平面陣列的應(yīng)用需求和國(guó)外發(fā)展現(xiàn)狀,對(duì)其工作模式、器件結(jié)構(gòu)、器件制備的關(guān)鍵工藝技術(shù)、雙色讀出電結(jié)構(gòu)進(jìn)行了闡述說(shuō)明。
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美國(guó)專(zhuān)利US7485870 (2009年2月3日授權(quán))本發(fā)明提供一種氣動(dòng)型紅外探測(cè)器,它包括一個(gè)敏感腔和一個(gè)參考腔,它是通過(guò)測(cè)量其敏感腔的氣動(dòng)膨脹來(lái)探測(cè)紅外輻射的。其原理是,敏感腔吸收紅外輻射能量后,其溫度上升,從而發(fā)生氣動(dòng)膨脹。參考腔通過(guò)機(jī)械方法與敏感腔相連,它是用來(lái)控制敏感腔的氣動(dòng)膨脹的。這種膨脹或者用電學(xué)方法探測(cè),或者用光學(xué)方法探測(cè)。本專(zhuān)利說(shuō)明書(shū)共33頁(yè),其中有23張插圖。
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