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潔凈度等級標準 ISO 14644 根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并 且僅考慮粒徑限值(低限)在 0.1um~5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。 根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子( 0.1um~5.0um)、超微粒子(< 0.1um)和宏粒子(> 5.0um)。 空氣潔凈度分級標準: ISO14644-1 (國際標準) 空氣潔凈度等級 (N) 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個 / 每立方米空氣粒子) 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100