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鄭州航空工業(yè)管理學(xué)院機(jī)械工程學(xué)科所依托的機(jī)電工程學(xué)院始建于1985年。、學(xué)科現(xiàn)有成員46人，其中教授12人、副教授23人，博士22人、碩士21人；全國(guó)優(yōu)秀教師1人，教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才和教育部教學(xué)指導(dǎo)委員會(huì)委員1人，河南省優(yōu)秀教師2人，河南省師德先進(jìn)個(gè)人1人，河南省優(yōu)秀骨干教師5人 ，河南省科技創(chuàng)新杰出人才1人，河南省學(xué)術(shù)技術(shù)帶頭人2人、河南省優(yōu)秀青年科技專家1人，
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機(jī) 械 工 程 學(xué) 報(bào) CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 襯底三維溫度場(chǎng)有限元法模擬 * 徐 鋒 左敦穩(wěn) 盧文壯 李 磊 王 珉 (南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院 南京 210016) 摘要： 熱絲化學(xué)氣相沉積 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制備金剛石薄膜設(shè)備簡(jiǎn)單，成本低 廉，適合大面積金剛石膜的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，其中襯底溫度是沉積高質(zhì)量 CVD 金剛石膜的重要參數(shù)之一?；诖?， 首先分析大面積 HFCVD 系統(tǒng)的熱交換過程，建立大面積 HFCVD 系統(tǒng)襯底溫度場(chǎng)的三維有限元模型。與傳統(tǒng)純 熱輻射模型相比，本模型更加接近實(shí)際系統(tǒng)，并較好符合試驗(yàn)測(cè)定的結(jié)果。根據(jù)三維有限元模
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