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更新時(shí)間：2024.12.28
LED多線切割機(jī)同步控制系統(tǒng)研制

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同步控制是LED多線切割機(jī)控制系統(tǒng)成功的關(guān)鍵。分析了傳統(tǒng)多線切割機(jī)切片過程的受力模型,針對(duì)其缺陷設(shè)計(jì)了一種加工羅拉搖擺裝置,并給出其模糊迭代同步控制策略。與單一模糊控制方法相比,該策略充分考慮了機(jī)器改進(jìn)后的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和運(yùn)行過程中的多種干擾,使用PD模糊控制器使系統(tǒng)迅速達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)并具有一定精度后,再利用迭代學(xué)習(xí)控制器消除PD模糊控制器的穩(wěn)態(tài)誤差。實(shí)驗(yàn)對(duì)比證明,該算法具有控制精度高、切片質(zhì)量好的特點(diǎn)。

多線切割機(jī)砂漿控制系統(tǒng)研究

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多線切割機(jī)是近年來發(fā)展非常迅速的一種高效率切割設(shè)備,在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,它通過驅(qū)動(dòng)多圈繞制的金屬鋼線高速旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)噴射在金屬鋼線上的砂漿對(duì)硅材料進(jìn)行磨削切割,在多線切割機(jī)對(duì)硅片的切割過程中,砂漿必須保持一定的流量和溫度,才能對(duì)硅料進(jìn)行持續(xù)高效的切割,砂漿流量的變化會(huì)影響切割效率和切割質(zhì)量,切割過程會(huì)產(chǎn)生熱量,砂漿在循環(huán)過程中必須帶走產(chǎn)生的熱量,否則熱量在砂漿中聚積,對(duì)硅片切割會(huì)產(chǎn)生不利甚至斷線。研究了多線切割機(jī)砂漿控制系統(tǒng),對(duì)硅片切割中砂漿流量控制方法進(jìn)行研究,通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證通過該砂漿控制系統(tǒng)能得到的穩(wěn)定的流量,砂漿流量波動(dòng)很小,很好地提高了硅片切割質(zhì)量及切割成片率,工藝線使用效果良好。

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