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從瓊斯矩陣?yán)碚摮霭l(fā),利用偏振鏡、分束器和鎖相放大器以及微處理器,搭建了測(cè)試系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了數(shù)據(jù)的自動(dòng)化處理。利用閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)和高精度步進(jìn)馬達(dá),對(duì)旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行了反饋控制,利用Si光電探測(cè)器,使用范圍覆蓋近紫外到近紅外,創(chuàng)建的測(cè)量系統(tǒng)具有測(cè)量精度高,重復(fù)性好,自動(dòng)化程度高,操作簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。經(jīng)過對(duì)菲涅耳菱體型相位延遲器件的測(cè)試,測(cè)量誤差小于0.3%。該系統(tǒng)也可以用來測(cè)量其他類型器件的相位延遲,在偏光測(cè)試領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
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文章編號(hào) :1005-6122(2011)02-0084-04 五位 RF MEMS 開關(guān)延遲線移相器 * 金 鈴 (南京電子技術(shù)研究所 ,南京 210013) 摘 要: 設(shè)計(jì)并研制了一種 6 ~11GHz、超寬帶 5 位 RF MEMS 開關(guān)延遲線移相器 ,器件實(shí)現(xiàn)了 5 位延遲 :λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。該器件采用微帶混合介質(zhì)多層板技術(shù) ,分 4層制作 ,尺寸為 45mm×20 mm。整個(gè)器件包括 20個(gè) RF MEMS懸臂梁開關(guān) ,用 60 ~75V 的靜電壓驅(qū)動(dòng) 。6 ~11GHz 頻帶內(nèi) ,對(duì) 32 個(gè)相移態(tài)的測(cè)試結(jié)果表明 :一般回波損耗 S11 <-10dB,各狀態(tài)平均插入損耗為 -8 ~-10dB;中心頻率處 ,器件可實(shí)現(xiàn)的最大延遲位時(shí)延為 1680ps,總時(shí)延為 3255ps。 關(guān)鍵詞 : 開關(guān)延遲線移相器 ,微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS),懸臂梁開關(guān) ,微波混合介質(zhì)多層
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