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研究應(yīng)用O2反應(yīng)離子刻蝕(RIE)直接深刻蝕商用有機(jī)玻璃(PMMA)片,以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的三維微加工,工藝簡(jiǎn)單,加工成本較低,為微器件的高深寬比加工提出了新方法。試樣采用Ni作掩膜,以普通的光刻膠曝光技術(shù)和濕法刻蝕法將Ni掩膜圖形化。工作氣壓、刻蝕功率等工藝參數(shù)對(duì)刻蝕速率影響較大。在刻蝕過程中,掩膜上的金屬粒子會(huì)被刻蝕氣體離子轟擊而濺射散落出來(lái),形成微掩膜效應(yīng)。利用這種RIE技術(shù),在適當(dāng)?shù)臑R射功率及氣壓下,刻蝕速率較快,且獲得了較陡直的微結(jié)構(gòu)圖形,刻蝕深度達(dá)120μm。
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來(lái)料類型 供應(yīng)商 品名 訂單系列 來(lái)料數(shù)量 來(lái)料日期 測(cè)試數(shù)量 檢驗(yàn)員 檢驗(yàn)日期 審核 測(cè)試項(xiàng)目 : 1、透明有機(jī)玻璃開料測(cè)試: 測(cè)試數(shù)量 測(cè)試數(shù)量 開料面積 : 開料寬度 : 開料塊數(shù) : 開料鋸片 : 結(jié)果判定 : 結(jié)果判定 : 3、網(wǎng)印測(cè)試: 測(cè)試數(shù)量 : ㈠ .防白水測(cè)試 : 測(cè)試數(shù)量 : 1pcs 結(jié)果判定 : ㈡ .慢干水測(cè)試 : 測(cè)試數(shù)量 : 1pcs 結(jié)果判定 : 結(jié)果判定 : 電鍍 (五金、塑膠 )、透明有機(jī)玻璃片、網(wǎng)印有機(jī)玻璃來(lái)料測(cè)試報(bào)告 2、表面附著力百格測(cè)試 : 檢驗(yàn)工具 / 方式 : 鋼尺 /百格刀 / 3M 膠紙 品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) 1. 表面需平整、不可有破裂和碎狀 (超過邊緣 5mm)、裂紋現(xiàn)象. 2. 顏色、光澤度和透明度要與樣品一致. 1.鋸一塊 10cm×10cm有機(jī)玻璃片開料成 10條1cm× 10cm長(zhǎng)條、不可有缺損和崩裂現(xiàn)象. 2.鋸一小塊
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