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機 械 工 程 學 報 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 襯底三維溫度場有限元法模擬 * 徐 鋒 左敦穩(wěn) 盧文壯 李 磊 王 珉 (南京航空航天大學機電學院 南京 210016) 摘要： 熱絲化學氣相沉積 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制備金剛石薄膜設(shè)備簡單，成本低 廉，適合大面積金剛石膜的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，其中襯底溫度是沉積高質(zhì)量 CVD 金剛石膜的重要參數(shù)之一?；诖耍?首先分析大面積 HFCVD 系統(tǒng)的熱交換過程，建立大面積 HFCVD 系統(tǒng)襯底溫度場的三維有限元模型。與傳統(tǒng)純 熱輻射模型相比，本模型更加接近實際系統(tǒng)，并較好符合試驗測定的結(jié)果。根據(jù)三維有限元模
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新《標準化法》于2017年11月正式發(fā)布,團體標準被正式確立為國家標準體系的組成部分。為使學會的團體標準化工作可持續(xù)發(fā)展,必須盡快建立學會自己的標準體系,本文在分析我國機械工業(yè)標準體系現(xiàn)狀及主要問題的基礎(chǔ)上探討了學會團體標準體系的建設(shè)思路、組織構(gòu)成,并分析了相應(yīng)的保障措施。
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