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中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)-中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)

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中 國(guó) 機(jī) 械 工 程 學(xué) 會(huì) 優(yōu) 秀 論 文 獎(jiǎng) 獲 獎(jiǎng) 名 單 （98 篇） 編 號(hào) 論 文 名 稱 作 者 鑄 造 分 會(huì) 2007-3-001 平面流鑄霧化制粉技術(shù)的開發(fā) 向青春 王 坦 李榮德 2007-3-002 Cu-55Sn亞包晶合金的定向凝固組織研究 呂海燕 李雙明 劉 林 2007-3-003 鈦合金冷坩堝電磁約束鑄造工藝研究 陳瑞潤(rùn) 丁宏升 畢維生 2007-3-004 濕型鑄鐵件生產(chǎn)中一些與型砂有關(guān)的問題解答 于震宗 2007-3-005 中國(guó)鑄造工業(yè)發(fā)展前景展望 繆 良 生 產(chǎn) 工 程 分 會(huì) 2007-3-006 基于快速有限元分析的沖壓件毛料展開 徐國(guó)艷 高 峰 杜發(fā)榮 2007-3-007 薄壁塑件注塑成形特性的試驗(yàn)研究 宋滿倉(cāng) 顏克輝 趙丹陽(yáng) 2007-3-008 鎂合金精整表面的砂帶磨削力測(cè)試

機(jī)械工程學(xué)報(bào)

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機(jī) 械 工 程 學(xué) 報(bào) CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 襯底三維溫度場(chǎng)有限元法模擬 * 徐 鋒 左敦穩(wěn) 盧文壯 李 磊 王 珉 (南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院 南京 210016) 摘要： 熱絲化學(xué)氣相沉積 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制備金剛石薄膜設(shè)備簡(jiǎn)單，成本低 廉，適合大面積金剛石膜的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，其中襯底溫度是沉積高質(zhì)量 CVD 金剛石膜的重要參數(shù)之一?；诖?， 首先分析大面積 HFCVD 系統(tǒng)的熱交換過程，建立大面積 HFCVD 系統(tǒng)襯底溫度場(chǎng)的三維有限元模型。與傳統(tǒng)純 熱輻射模型相比，本模型更加接近實(shí)際系統(tǒng)，并較好符合試驗(yàn)測(cè)定的結(jié)果。根據(jù)三維有限元模

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