半導體行業(yè)正持續(xù)迅速的發(fā)展著，為能滿足客戶對產(chǎn)品和工藝快速不斷變化的需求，我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。

真空設備在所有半導體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用，針對特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設備。

過去的幾年里，為完全滿足半導體行業(yè)需求，我們縮短產(chǎn)品開發(fā)周期，更加迅速的推出新的產(chǎn)品，大大提高了我們的服務質量。

真空技術常常用有利于環(huán)保的工藝取代那些危害環(huán)境的工藝。真空泵及其它真空部件，如測量儀器和檢漏儀可廣泛應用于以下各工業(yè)領域:

·食品真空包裝

·環(huán)保冰箱、空調

·高純度與高強度金屬的生產(chǎn)

·燈泡和彩色顯像管

·平面顯示器制造

萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥(選配)、出口過濾器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機驅動。

安裝在泵體中的偏心轉子)有三塊葉片，它們把泵分成三個隔室，每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。

當轉子旋轉時，抽空腔的進氣部分容積擴大，將氣體從進氣口吸入，氣體經(jīng)過空氣濾芯，打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。

油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內由于折轉而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被徹底過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度。

注:SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。

所有工業(yè)品的生產(chǎn)與技術成果都必須經(jīng)歷廣泛、高投入的研究與發(fā)展階段。只有經(jīng)過仔細研究、測試和開發(fā)過程的新產(chǎn)品才能投入到生產(chǎn)或大規(guī)模應用中。

應用于各研發(fā)領域的真空設備、裝置及零備件，其尺寸和能力都是不同的。我們?yōu)闈M足這些研發(fā)用途而專門開發(fā)和生產(chǎn)特殊的專業(yè)產(chǎn)品。因此，我們能由始至終參與到客戶的整個生產(chǎn)工藝過程中，并獲得寶貴的經(jīng)驗以使本行業(yè)的合作伙伴也能根本受益。

產(chǎn)品發(fā)展設計和生產(chǎn)

許多年來，萊寶公司一直對于真空技術基礎的研究和發(fā)展大量投入，總投入已達到我們總收入的10%，這也是萊寶能提供頗具有吸引力新型真空產(chǎn)品的重要原因。

發(fā)展新技術的過程中，萊寶不僅以產(chǎn)品的實際應用為導向，而且更加關注產(chǎn)品的整體質量。所有的泵及其附件在開發(fā)階段，必定經(jīng)過特殊的壓力與持久性測試。萊寶與萊寶所有供應商的生產(chǎn)過程，都處于持續(xù)監(jiān)控之中，以保證任何可能出現(xiàn)的產(chǎn)品缺陷都將在早期生產(chǎn)階段被檢測并及時消除。

SOGEVAC

抽速:10立方米每小時~1400立方米每小時

極限真空度:

SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B極限真空度為

<0.5mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)

<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)

SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的極限真空度為

<8×10負二次方mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強)

<7×10負一次方mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強)

排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時

1、超強的排除水蒸氣的能力。

2、出口油霧過濾器為標準配置，真空泵油循環(huán)使用，無油煙，清潔、環(huán)保、省油。

3、可以在進口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。

4、在低壓強下仍能保持高的抽速。

5、內置自動防返油閥。

6、SV630以下為風冷，不需要水冷，經(jīng)濟方便。

7、低噪音，低振動。

8、結構緊湊，體型小，節(jié)省空間。

9、可以與各種附件配套使用，因而可以滿足各種不同應用的需要。

主要技術參數(shù)為:

抽速?1.6m3/h?65m3/h

極限真空度?10-4mbar(無氣鎮(zhèn)分壓強) 2×10-3mbar(無氣鎮(zhèn)全壓強) 5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強) 耐水蒸汽能力?25mbar?40mbar

歐瑞康萊寶的TRIVAC B系列雙級油封旋片泵的主要特點?

1、內置油泵?對泵腔進行強制潤滑。因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下連續(xù)工作。

2、內置自動防返油閥?可在停泵時自動將進氣口截止?防止返油。

3、進氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。

4、極強的耐水蒸汽能力。

另外?歐瑞康萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。 -

(1)專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。 -

(2)用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX?ATEX認證防爆泵。 -

(3)用于半導體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。

真空泵排氣過濾器學名真空泵油霧分離器（下面簡稱為油霧分離器）。主要作用：過濾真空泵油與氣體，使真空泵排氣口排出清潔干凈的空氣。

真空泵排氣過濾器主要應用于油封旋片式真空泵，如：普旭真空泵、萊寶真空泵、貝克真空泵、里其樂真空泵、大路通真空泵、愛德華真空泵等用真空泵油作為介質抽除氣體達到真空的設備。這種加裝油霧分離器的油封旋片式真空泵具有排出氣體清潔、不污染工作環(huán)境，適合廠房、室內使用等。

如果油霧分離器失效或損壞可直接影響真空泵對環(huán)境的污染程度，真空泵排氣口會出現(xiàn)冒煙等情況。解決方法是聯(lián)系供貨商購買真空泵配件油霧分離器換掉損壞配件。油霧分離器的發(fā)明是真空泵整體性能的提升，它能有效的減少、杜絕：

1、防止真空泵油的大量減少

2、提高室內、廠房的清潔度

3、減小環(huán)境污染

油霧分離器因需過濾真空泵與氣體，可能存在真空泵油含有少量不易過濾的雜質或是碳粒子，這樣就直接造成了油霧分離器提前失效的危險。為了使油霧分離器使用壽命更長，大路通推薦油封旋片式真空泵使用客戶應該選擇專業(yè)的真空泵專用油，以防止油碳化而導致油霧分離器提前失效。