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針對磁場同步跟隨式磁懸浮微驅(qū)動器,構(gòu)建了新型的集驅(qū)動、測量和控制于一體的磁懸浮微驅(qū)動器定位系統(tǒng)。設計了一套以DSP為核心的硬件控制板的運行軟件。采用LabVIEW軟件實現(xiàn)了上位機的數(shù)據(jù)采集、顯示、分析及保存等功能。以(1.231,1.227)mm、(1.529,1.516)mm兩點為目標進行了定位實驗。實驗結(jié)果證明這種定位控制系統(tǒng)的誤差在0.001~0.009 mm之間,該定位控制系統(tǒng)具有較好的控制精度。