格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">625KB
頁數(shù)： 4頁
提出一種新的處理方法-XPS標準曲線法來測量硅片上超薄氧化硅層(SiO2/Si)的厚度。該方法利用一系列氧化硅厚度(d)準確已知的SiO2/Si標準樣品,分別記錄其氧化硅和元素硅的Si(2p)譜線,并得到峰高比(R),然后將厚度(d)對峰高比(R)作圖得到標準曲線。在相同的實驗條件下,測得未知樣品氧化硅和元素硅的Si(2p)譜線并計算其峰高比,通過插入法在標準曲線上得到相應的氧化硅層厚度。SiO2/Si標準樣品由設備一流和經(jīng)驗豐富的權威實驗室提供,其氧化硅厚度采用多種方法進行測量比對。實驗表明:基于氧化硅厚度準確知道的標準樣品制作的XPS標準曲線,用于硅片上超薄氧化硅層厚度測量時具有快速、簡便和比較準確等優(yōu)點,有較好的實用價值。
格式：pdf
大小：625KB
頁數(shù)： 4頁
提出一種新的處理方法-XPS標準曲線法來測量硅片上超薄氧化硅層(SiO2/Si)的厚度。該方法利用一系列氧化硅厚度(d)準確已知的SiO2/Si標準樣品,分別記錄其氧化硅和元素硅的Si(2p)譜線,并得到峰高比(R),然后將厚度(d)對峰高比(R)作圖得到標準曲線。在相同的實驗條件下,測得未知樣品氧化硅和元素硅的Si(2p)譜線并計算其峰高比,通過插入法在標準曲線上得到相應的氧化硅層厚度。SiO2/Si標準樣品由設備一流和經(jīng)驗豐富的權威實驗室提供,其氧化硅厚度采用多種方法進行測量比對。實驗表明:基于氧化硅厚度準確知道的標準樣品制作的XPS標準曲線,用于硅片上超薄氧化硅層厚度測量時具有快速、簡便和比較準確等優(yōu)點,有較好的實用價值。
熱門知識
標準曲線法-
-
-
-
話題： 地產(chǎn)家居23544881
精華知識
標準曲線法-
話題： 路橋市政peter16969
-
話題： 地產(chǎn)家居105820
-
話題： 工程造價jimoxinshi5
最新知識
標準曲線法-
話題： 地產(chǎn)家居wj688
-
-
話題： 給排水jixuliulang
-
話題： 路橋市政yx12041849
相關問答
標準曲線法-
話題： 造價軟件sxhaojianjun
-
話題： 地產(chǎn)家居野貓吃魚
-
話題： 地產(chǎn)家居風中幽蘭0025
標準曲線法相關專題
- 看閥門尺寸是什么標準
- 理石驗收方法及標準
- 樓板承重標準多少
- 樓板厚度檢測規(guī)范標準
- 樓板現(xiàn)澆的國家標準是什么
- 樓房標準廠房高度多少
- 樓房間距標準
- 樓房墻的標準寬度是多少
- 住宅建筑日照標準的定義
- 足球門標準尺寸
- 多逆變器太陽能光伏并網(wǎng)發(fā)電系統(tǒng)的組群控制方法
- 有源配電網(wǎng)設備利用率影響因子體系及其價值計算方法
- 有限元法在軟土淺埋隧道施工過程的動態(tài)模擬中的應用
- 新型基于熱力學法的水泵效率數(shù)學模型及應用
- 原來這就是辨別冷熱水管正確方法商家終于肯說實話了
- 云南省建設工程造價協(xié)會優(yōu)秀工程咨詢成果獎評選辦法
- 振沖碎石樁地基加固技術在椒江標準海塘工程中的應用
- 引入PPP模式的高標準農(nóng)田建設及財政支持體系創(chuàng)新
- 新的基于NGA/PCA和SVM的特征提取方法
- 中國石化北京設計院標準工藝裝置管道墊片選用規(guī)定
- 中華人民共和國國家標準建設工程工程量清單計價規(guī)范
- 乙烯基樹脂混凝土電解槽的性能及在濕法冶金中的應用
- 應用清單招標與經(jīng)評審的最低投標價法評標的幾點思考
- 定征復合板材粘接層性質(zhì)的非線性超聲蘭姆波方法
- 圓形隧道反向曲線隧道中心線兩種偏移計算方法的比較
- 雜散電容對交流法微電容測量電路噪聲特性影響的分析
- 招標師招標采購法律法規(guī)與政策題型分析輔導材料