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給出了一種完全基于CM O S工藝的、能同時測量風速和風向的二維測風傳感器的結構、工作原理及其測試結果。該傳感器采用恒溫差工作模式,熱堆輸出電壓平均值反映芯片溫度和環(huán)境溫度的差,省去了測溫二極管。風速測量采用熱損失型原理,因此不存在速度量程問題;同時通過四周對稱分布熱堆的相對差分輸出得到風向,風向的測試和風速無關。測試電路是由普通運放電路組成的控制和測試系統(tǒng)。經(jīng)過風洞測試,風速的測量可以達到23m/s,風速分辨率達到0.5 m/s,風速的最大誤差為0.5 m/s。傳感器的反應時間為3~5秒,整個功率損耗約為500 mW。