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更新時間：2025.05.31
PE蝶閥與擋板閥的快速拆裝

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PD380B管式 PECVD 1 蝶閥與擋板閥的拆裝 圖一 PE主機臺 1.爐管降溫 在工控機操作界面中，將爐管溫度由原來的 450°設置為 200°。 2.真空泵的吹掃 2.1抽真空；將反應壓力設為 0，關(guān)掉 N2輸入，打開預抽，當壓力小 于 500時，關(guān)掉預抽，打開主抽，直到管內(nèi)為真空狀態(tài)（壓力小于 40mtorr）； 2.2設置 N2輸入為 8000，反應壓力為 1700mtorr； 2.3將真空泵的 N2稀釋閥調(diào)到最大約 84.4pam3/S；吹掃至少進行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 圖二 真空泵 3.關(guān)真空泵 3.1點操作面板的 stop，選擇關(guān)閉真空泵（并非延時關(guān)閉） ； 3.2拉下真空泵的黑色電源開關(guān)，并且將真空泵的冷卻水關(guān)掉，保持 真空泵的 N2為打開狀態(tài)。 4.工具的準備 一套開口扳手（主要使用 7mm、12mm、13mm、1

電液伺服閥噴嘴擋板閥流場分析

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分析了力反饋兩級電液伺服閥噴嘴擋板閥處的流場。首先利用Gambit軟件進行網(wǎng)格劃分,建立Solidworks三維模型,采用CFD計算流體動力學方法得到了噴嘴擋板一級閥的壓力場和速度場。結(jié)果表明:固定節(jié)流口、噴嘴擋板間隙和回油阻尼口處存在節(jié)流減壓現(xiàn)象,最高流速發(fā)生在固定節(jié)流口和噴嘴擋板間隙處。分析結(jié)果對噴嘴擋板閥的數(shù)字化設計及性能預測具有一定的參考意義。

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