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針對巨磁阻和磁隧道結(jié)等磁阻元件的1/f噪聲,提出一種采用微機電系統(tǒng)的磁力線聚集和垂動調(diào)制磁場傳感器。通過將被測磁場從低頻轉(zhuǎn)移到幾kHz,實現(xiàn)對磁場的DC/AC轉(zhuǎn)化,從而減小了磁阻元件的1/f噪聲?；谠摲桨覆捎枚鄬幽ぞ薮抛柙嗀A002制作了磁場傳感器樣品,并進行了實驗測試,結(jié)果表明:磁傳感器樣品的調(diào)制效率達(dá)到了19.3%,超過了已有的其他各種調(diào)制方案,同時低頻磁場的探測能力達(dá)到槡120pT/Hz,相比巨磁阻元件AA002提高了40多倍。
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