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加 H2鍍 OLED 用 ITO 導(dǎo)電玻璃 為了解決 OLED 用 ITO 導(dǎo)電玻璃表面粗糙度和拋光粉殘留影響發(fā)光器件的 發(fā)光效率及其使用壽命,希望直接用真空鍍膜工藝得到低粗糙度 ITO。在金工的 指導(dǎo)下查閱大量資料,做了大量實(shí)驗(yàn)初步研究出真空設(shè)備直接鍍出低粗糙鍍 ITO,下面是實(shí)驗(yàn)內(nèi)容與結(jié)果: 樣 品 號(hào) Ar+O2/ SCCM Ar SCCM H2 SCCM 氣 壓 Pa 速 度 HZ 功 率 KW 鍍 膜 溫 度 ℃ 退 火 溫度 電 阻 Ω /□ Tr % Ra 備 注 (退火 工藝 ) 1# 85 70 0.58 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.36 Ar/O 2=200 10 分鐘 2# 85 70 0.59 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.42 不加氣體 10 分 鐘 3# 85 70 100 0.85 8× 2 3.
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加 H2鍍 OLED 用 ITO 導(dǎo)電玻璃 為了解決 OLED 用 ITO 導(dǎo)電玻璃表面粗糙度和拋光粉殘留影響發(fā)光器件的 發(fā)光效率及其使用壽命,希望直接用真空鍍膜工藝得到低粗糙度 ITO。在金工的 指導(dǎo)下查閱大量資料,做了大量實(shí)驗(yàn)初步研究出真空設(shè)備直接鍍出低粗糙鍍 ITO,下面是實(shí)驗(yàn)內(nèi)容與結(jié)果: 樣 品 號(hào) Ar+O2/ SCCM Ar SCCM H2 SCCM 氣 壓 Pa 速 度 HZ 功 率 KW 鍍 膜 溫 度 ℃ 退 火 溫度 電 阻 Ω /□ Tr % Ra 備 注 (退火 工藝 ) 1# 85 70 0.58 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.36 Ar/O 2=200 10 分鐘 2# 85 70 0.59 8× 2 3.0 RT 380 26 90 0.42 不加氣體 10 分 鐘 3# 85 70 100 0.85 8× 2 3.
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