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主要介紹了雙色碲鎘汞紅外焦平面陣列的應用需求和國外發(fā)展現(xiàn)狀,對其工作模式、器件結(jié)構(gòu)、器件制備的關(guān)鍵工藝技術(shù)、雙色讀出電結(jié)構(gòu)進行了闡述說明。
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0引言在法國,碲鎘汞的研究與發(fā)展已經(jīng)有25年多的歷史了,這項工作是該國Sofradir工業(yè)集團公司和CEA-Leti公共實驗室之間通過大力協(xié)作進行的。為了縮短該技術(shù)推向市場的時間,Sofradir工業(yè)集團公司和CEA-Leti在Grenoble地區(qū)成立了一個聯(lián)合實驗室(DEFIR)。目前在該地區(qū)大約有600人在從事紅外探測器的研制工作。碲鎘汞紅外探測器技術(shù)獲得良好評價已經(jīng)
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