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更新時(shí)間：2025.05.10
形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)的常閉型主動(dòng)閥

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本文研究了一種基于形狀記憶合金（SMA）驅(qū)動(dòng)的常閉型微閥．該微閥結(jié)構(gòu)由彈性溝道層和形狀記憶合金橋兩部分組成，利用形狀記憶合金微絲在相變過(guò)程中產(chǎn)生的拉力，打開(kāi)微閥結(jié)構(gòu)．通過(guò)對(duì)微閥的測(cè)試得出，其打開(kāi)壓力為4000Pa左右，開(kāi)啟時(shí)間和關(guān)閉時(shí)間分別為0．6s和1s．此外，當(dāng)電流在0．14～0．30A內(nèi)，可得到6．7～75．2μL／min的近似線性流量調(diào)節(jié)范圍．該形狀記憶合金常閉微閥的制造采用聚二甲基硅氧烷（PDMS）的軟光刻工藝實(shí)現(xiàn)，之后采用印刷電路板（PCB）上的形狀記憶合金絲焊接組裝搭建驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)．

形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)的常閉型主動(dòng)閥(英文)

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本文研究了一種基于形狀記憶合金(SMA)驅(qū)動(dòng)的常閉型微閥.該微閥結(jié)構(gòu)由彈性溝道層和形狀記憶合金橋兩部分組成,利用形狀記憶合金微絲在相變過(guò)程中產(chǎn)生的拉力,打開(kāi)微閥結(jié)構(gòu).通過(guò)對(duì)微閥的測(cè)試得出,其打開(kāi)壓力為4 000 Pa左右,開(kāi)啟時(shí)間和關(guān)閉時(shí)間分別為0.6 s和1 s.此外,當(dāng)電流在0.14～0.30 A內(nèi),可得到6.7—75.2μL/min的近似線性流量調(diào)節(jié)范圍.該形狀記憶合金常閉微閥的制造采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的軟光刻工藝實(shí)現(xiàn),之后采用印刷電路板(PCB)上的形狀記憶合金絲焊接組裝搭建驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu).

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