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通過反射率、透射率參量測試和高分辨電鏡分析 ,研究了硅薄膜中微晶粒數(shù)量、尺寸和分布對鍍膜玻璃鏡面反射效果的影響。發(fā)現(xiàn)通過一定的熱處理工藝可以調(diào)整硅膜中的晶粒狀況 ,得到硅微晶粒數(shù)量眾多、分布彌散且晶粒大小在數(shù)十至數(shù)百納米的硅 /非晶硅復(fù)合薄膜 ,使入射光產(chǎn)生漫散射進(jìn)而有效降低鏡面反射所造成的光污染。
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