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分子泵的裝配順序?qū)Ψ肿颖玫倪\行情況和抽氣性能具有較大影響,為了優(yōu)化分子泵裝配工藝,需要綜合考慮裝配操作方便性、裝配精度保證性、工藝簡單性和裝配可行性等影響分子泵裝配的因素,通過裝配序列的綜合評價方法,建立裝配序列評價模型,獲取最優(yōu)的裝配序列,從而在最優(yōu)裝配序列的指導(dǎo)下,優(yōu)化裝配工藝流程并設(shè)計專用裝配裝置,提高分子泵裝配效率和質(zhì)量穩(wěn)定性。