廢氣處理技術
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多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝改造
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針對多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝存在的問題其進行改造,改造后廢氣中約有92.1%的氯硅烷被回收利用,堿液的月平均消耗量減少約500 t;放空氣體中有毒有害成分的質(zhì)量分數(shù)由17.6%降至0.08%;著火和爆炸事故等安全問題已徹底消除,生產(chǎn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性得到改善,多晶硅的月均產(chǎn)量和產(chǎn)品合格率分別提高約13.8%和4.7%。
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