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多晶硅生產(chǎn)中廢氣的處理方法主要有水洗法、焚燒法和堿液淋洗法.水洗法是多晶硅廠最傳統(tǒng)的廢氣處理方法,是通過大量的噴淋水吸收廢氣中氯化氫和氯硅烷,該方法資源浪費(fèi)量巨大,同時(shí)存在重大的安全隱患,現(xiàn)在已基本不使用.焚燒法是將廢氣進(jìn)行高溫燃燒和水解,得到二氧化硅和鹽酸,該方法因前期投資過大、設(shè)備要求過高、工藝復(fù)雜、運(yùn)行成本高等原因,其應(yīng)用受到限制.堿液淋洗法因其工藝簡(jiǎn)單、投資和運(yùn)行成本較低、處理效果好等優(yōu)點(diǎn),成為目前多晶硅廠最常用的廢氣處理方法.
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