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簡(jiǎn)要介紹了銦(In)的用途及國(guó)內(nèi)銦產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀,對(duì)ITO薄膜的特性、應(yīng)用領(lǐng)域及高密度ITO靶材濺射鍍膜的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了描述。重點(diǎn)對(duì)高密度ITO靶材的燒結(jié)工藝和成形方法的優(yōu)缺點(diǎn)及發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了闡述。探討了高密度ITO靶材生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。
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