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用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線性測量 — 最佳操作及實踐經(jīng)驗 1 簡介 本文描述的最佳操作步驟及實踐經(jīng)驗主要針對使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車床、銑床以及 坐標(biāo)測量機(jī)的線性精度。但是,文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關(guān)的其它項目,如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內(nèi),用于實現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測量的特殊方法(如真空操作)也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測量單位。( 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì),所以肉眼無 法看到,接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值)??蓪崿F(xiàn)微米級及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用,為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點后有很多位數(shù),但并不表 明都很精確。(在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍)。實現(xiàn) 1 微米的測量分 辨率很容易,但要得到 1 微米的測量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文
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激光測距儀 激光測距儀是利用 激光 對目標(biāo)的距離進(jìn)行準(zhǔn)確測定的儀器。 激光測距儀在工作時向目 標(biāo)射出一束很細(xì)的激光,由光電元件接收目標(biāo)反射的激光束,計時器測定激光束從發(fā) 射到接收的時間,計算出從觀測者到目標(biāo)的距離。 若激光是連續(xù)發(fā)射的,測程可達(dá) 40 公里左右,并可晝夜進(jìn)行作業(yè)。若激光是脈 沖發(fā)射的,一般絕對精度較低,但用于遠(yuǎn)距離測量,可以達(dá)到很好的相對精度。 世界上第一臺激光器,是由美國休斯飛機(jī)公司的科學(xué)家梅曼于 1960 年,首先研 制成功的。美國軍方很快就在此基礎(chǔ)上開展了對軍用激光裝置的研究。 1961 年,第 一臺軍用激光 測距儀通過了美國軍方論證試驗,對此后激光測距儀很快就進(jìn)入了實 用聯(lián)合體。 激光測距儀重量輕、體積小、操作簡單速度快而準(zhǔn)確,其誤差僅為其它光學(xué)測距 儀的五分之一到數(shù)百分之一,因而被廣泛用于地形測量,戰(zhàn)場測量, 坦克 ,飛機(jī),艦 艇和火炮對目標(biāo)的測距,測量云層、飛機(jī)