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研制了一種新型的密封式超長(zhǎng)精密鋼帶光柵線(xiàn)位移傳感器.該傳感器采用了反射式精密超長(zhǎng)計(jì)量鋼帶光柵尺作為測(cè)量基準(zhǔn)尺,實(shí)現(xiàn)了大量程,并且依據(jù)激光光電掃描器拾取光柵莫爾條紋光電信號(hào),提高了光柵付工作間隙量和測(cè)量的精度.實(shí)驗(yàn)的結(jié)果表明:傳感器量程為3m,10m,50m時(shí),其測(cè)量精度可以達(dá)到±5μm/m,±10μm/m,±20μm/m.
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