造價(jià)通
更新時(shí)間:2025.05.17
基于通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的熱板參數(shù)分析

格式:pdf

大?。?span class="single-tag-height">225KB

頁(yè)數(shù): 4頁(yè)

光刻工藝中對(duì)熱板表面溫度場(chǎng)均勻性有極高要求,在熱板設(shè)計(jì)參數(shù)選擇問(wèn)題上,通過(guò)使用通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設(shè)計(jì)參數(shù)情況下的熱板表面溫度場(chǎng)均勻性數(shù)據(jù)。對(duì)仿真結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行回歸建模,回歸模型計(jì)算結(jié)果與仿真結(jié)果有較高的一致性。結(jié)果表明,熱板設(shè)計(jì)參數(shù)可以根據(jù)該回歸模型來(lái)選擇。

三因素二次通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)統(tǒng)計(jì)分析微機(jī)程序

格式:pdf

大?。?span class="single-tag-height">181KB

頁(yè)數(shù): 7頁(yè)

三因素二次通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)統(tǒng)計(jì)分析微機(jī)程序

熱門(mén)知識(shí)

平縱組合設(shè)計(jì)

精華知識(shí)

平縱組合設(shè)計(jì)

最新知識(shí)

平縱組合設(shè)計(jì)
點(diǎn)擊加載更多>>

相關(guān)問(wèn)答

平縱組合設(shè)計(jì)
點(diǎn)擊加載更多>>
專(zhuān)題概述
平縱組合設(shè)計(jì)相關(guān)專(zhuān)題

分類(lèi)檢索: