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對精密氣壓控制方法進行了研究,應用氣動比例閥門作為壓力產(chǎn)生的執(zhí)行機構,采用模擬和數(shù)字PID雙閉環(huán)反饋控制,采用硅壓阻模擬傳感器和數(shù)字石英諧振傳感器的雙傳感器結構,對系統(tǒng)控制結構進行設計,實現(xiàn)了氣體壓力的精密控制,壓力輸出準確度為0.02%,控制穩(wěn)定性達0.003%。系統(tǒng)壓力產(chǎn)生速度快、沒有壓力過沖,控制精度高,穩(wěn)定性好。該系統(tǒng)為壓力參數(shù)的自動檢定提供了精密壓力基準源,可以實現(xiàn)壓力表、壓力變送器和壓力傳感器的自動檢定校準。
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