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本文在前人研究過的ASM1和ASM1-CN的基礎上,建立了一種混合軟測量模型。該模型以一種改進過的更為簡單的機理模型(SPM)為主,加上GA優(yōu)化參數(shù)、神經(jīng)網(wǎng)絡作為輔助的偏差校正,來對ASM1-CN描述的復雜反應過程進行擬合,取得了很好的效果,特別是對實際處理時間地預測,節(jié)約了成本,增加了處理量,說明了這種混合軟測量方法(SPM+GA+NN)的準確性和可應用性。
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