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本文在前人研究過的ASM1和ASM1-CN的基礎(chǔ)上,建立了一種混合軟測(cè)量模型。該模型以一種改進(jìn)過的更為簡(jiǎn)單的機(jī)理模型(SPM)為主,加上GA優(yōu)化參數(shù)、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)作為輔助的偏差校正,來對(duì)ASM1-CN描述的復(fù)雜反應(yīng)過程進(jìn)行擬合,取得了很好的效果,特別是對(duì)實(shí)際處理時(shí)間地預(yù)測(cè),節(jié)約了成本,增加了處理量,說明了這種混合軟測(cè)量方法(SPM+GA+NN)的準(zhǔn)確性和可應(yīng)用性。
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