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玻璃網(wǎng)格板是一種相互垂直的縱、橫刻線的二維線紋標準器,用來檢測航測儀器、遙感儀器和各類二維坐標測量儀器的精度,因此,它的精度直接影響待檢儀器的精度。結(jié)合計量圓光柵的制作工藝,詳細介紹了基于光刻膠的玻璃網(wǎng)格板新型制作工藝,檢驗結(jié)果表明該種工藝制作的玻璃網(wǎng)格板線條均勻,280mm內(nèi)刻線間距精度小于1μm。
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