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為準(zhǔn)確測(cè)量上海光源軟X射線譜學(xué)顯微光束線采用的變包含角平面光柵單色儀的轉(zhuǎn)角重復(fù)精度,提出了一種新的基于相位板衍射準(zhǔn)直技術(shù)的測(cè)量方法。該方法將半導(dǎo)體激光單模光纖和相位板衍射準(zhǔn)直技術(shù)結(jié)合起來(lái),利用面陣CCD采集圖像,通過(guò)測(cè)量光斑的位移變化確定平面鏡和光柵的角度變化。實(shí)驗(yàn)表明,該方法可以測(cè)量掠入射情況下單色儀聯(lián)動(dòng)時(shí)的轉(zhuǎn)角重復(fù)精度,測(cè)量精度可達(dá)±0.1″,此測(cè)量精度優(yōu)于同等實(shí)驗(yàn)條件下的商用ELCOMAT3000自準(zhǔn)直儀的測(cè)量精度。
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