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更新時間：2025.01.04
爐管工藝

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爐管工藝 引言 IC 行業(yè)所用的爐管目前主要是垂直式的（水平式的已經(jīng)很少用了） ，按使用 壓力不同分為常壓爐管和低壓爐管。常壓爐管主要用于熱氧化制程，熱退火， BPSG熱回流，熱烘烤，合金等諸方面。 低壓爐管則主要用于 LPCVD 沉積工藝， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用來 生成二氧化硅的。本篇主要介紹爐管的基本知識及有關(guān)工藝。 §1. 常壓爐管工藝 硅表面上總是覆蓋著一層二氧化硅，即使是剛剛解理的硅，在室溫下，只要 在空氣中一暴露就會在表面上形成幾個原子層的氧化膜。 當我們把硅晶片暴露在 高溫且含氧的環(huán)境里一段時間之后， 硅晶片的表面會生長 （grow）一層與硅附著 性良好，且具有高度穩(wěn)定的化學(xué)性和電絕緣性的二氧化硅—— SiO2。正因為二氧 化硅具有這樣好的性質(zhì)，它在硅半導(dǎo)體元件中的應(yīng)用非常廣泛。 根據(jù)不同的需要， 二氧化硅被用于

爐管施工方案

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第 1頁共 20頁 1.0 工程簡介 本方案適用于聯(lián)盟煉油 40萬噸 /年加氫處理裝置 2臺加熱爐的爐管施工。 裝 置中共有 1臺反應(yīng)進料加熱爐（ F-1001）和 1臺分餾塔底重沸爐（ F-1002）。方 箱爐，反應(yīng)進料加熱爐（ F-1001）輻射爐管的材質(zhì)均采用 TP321H，分餾塔底重 沸爐（F-1002）輻射爐管和對流爐管的材質(zhì)采用 ，對流室為翅片管。 轉(zhuǎn)化 爐包括 Alloy800HT 爐管。 2.0 編制依據(jù)及施工執(zhí)行的規(guī)范標準 2.2 施工執(zhí)行的標準規(guī)范 SH3065-1994 石油化工管式爐急彎彎管技術(shù)標準 SH3085-1997 石油化工管式爐碳鋼和鉻鉬鋼爐管焊接技術(shù)條件 SH3086-1998 煉油廠管式爐鋼結(jié)構(gòu)工程及部件安裝技術(shù)條件 SH3087-1997 石油化工管式爐耐熱鋼鑄件技術(shù)標準 SH/T3113-2000 石油化工管式爐燃燒器工程技術(shù)標準

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