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更新時(shí)間：2024.12.28
一種新型MEMS溫度傳感器

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提出了一種新型的基于硅微橋的MEMS溫度傳感器。傳感器是由表面制有惠斯通電橋的硅微橋和淀積在其表面的溫敏聚合物薄膜構(gòu)成。應(yīng)用彈性力學(xué)薄板理論分析了該溫度傳感器的模型。分析表明:硅微橋的輸出與溫度變化呈線性關(guān)系。在溫敏薄膜材料參數(shù)已知時(shí),采用大面積、高厚度,可以改善傳感器性能。

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新型瀝青路面?zhèn)鞲衅鞯难芯?作者： 郁春潮， YU Chun-chao 作者單位： 長(zhǎng)江大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,湖北,荊州,424023 刊名： 長(zhǎng)江大學(xué)學(xué)報(bào)A(自然科學(xué)版) 英文刊名： JOURNAL OF YANGTZE UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年，卷(期)： 2008，5(3) 引用次數(shù)： 0次 參考文獻(xiàn)(5條) 1.胡力群 . 沙愛民 多功能道路檢測(cè)車在道路養(yǎng)護(hù)、管理中的應(yīng)用 [期刊論文]-筑路機(jī)械與施工機(jī)械化 2005(06) 2.李晉惠 . 樓偉 .姜壽山 基于CCD的公路路面病害檢測(cè)技術(shù)研究 2001(02) 3.段峰 .王耀南 .雷曉峰 機(jī)器視覺技術(shù)及其應(yīng)用綜述 [期刊論文]-自動(dòng)化博覽 2002(03) 4.孫長(zhǎng)庫 . 葉聲華 激光測(cè)量技術(shù) 2001 5.郁春潮 廣角鏡頭的攝像機(jī)非線性標(biāo)定技術(shù) [期刊論文]-長(zhǎng)江

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