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采用傳統(tǒng)的研磨拋光方法很難實(shí)現(xiàn)口徑與厚度比很大的玻璃透鏡的制造,下盤后機(jī)械應(yīng)力變形是影響透鏡精度的重要因素之一。而采用玻璃精密模壓制造技術(shù),無需透鏡毛坯裝夾固定機(jī)構(gòu),在加工過程中幾乎不產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力,因此是小口徑薄型玻璃透鏡的首選制造技術(shù)。成功制造了一種口徑與中心厚度比為11的薄型透鏡,面形精度的PV值和RMS值可分別達(dá)到0.41μm和0.08μm,重復(fù)精度的PV值優(yōu)于0.1μm,測(cè)量結(jié)果表明:該模壓透鏡具有良好的面形精度,且批量制造的一致性很好,說明采用玻璃精密模壓制造技術(shù)加工小口徑薄型透鏡是一種高效可靠的加工方法。
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對(duì)小口徑玻璃透鏡熱壓成形模具的超精密平行磨削進(jìn)行了試驗(yàn)研究,并對(duì)加工過程中的形狀誤差補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了探討。結(jié)合超精密平行磨削技術(shù)和形狀誤差補(bǔ)償技術(shù),選用經(jīng)精密整形和修銳的微小砂輪,對(duì)直徑和曲率半徑均為10mm的小口徑透鏡模具樣品進(jìn)行了加工試驗(yàn)。試驗(yàn)獲得的加工表面的表面粗糙度Ra=5.98nm、Rz=34.95nm,形狀精度峰谷值為113nm、均方根值為23nm,其形狀精度峰谷值及均方根值均較誤差補(bǔ)償之前有明顯減小,加工過程中的殘余形狀誤差得到了有效的修正和補(bǔ)償,加工精度得到提高。
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