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為了實現(xiàn)對微小位移的測量,研制了一套基于單模光纖輸出半導體激光器和2維位置敏感探測器的位移檢測系統(tǒng),可以有效地抑制環(huán)境光噪聲.對半導體激光器的注入電流進行1kHz的調(diào)制,實現(xiàn)輸出光功率的調(diào)制.在信號處理電路中,采用相敏檢波技術(shù),解調(diào)探測器的輸出交流信號,得出光斑能量中心位置,消除外界干擾.結(jié)果表明,測量精度優(yōu)于1μm.這一結(jié)果對于多自由度誤差檢測是有幫助的.
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