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本文提出了一種多普勒振鏡正弦調(diào)制多光束激光外差測量玻璃厚度的新方法.基于激光外差技術(shù)和多普勒效應(yīng),通過做簡諧振動的多普勒振鏡對不同時刻入射光的頻率進行正弦調(diào)制,把待測厚度信息加載到外差信號的頻率差中,通過快速傅里葉變換對外差信號解調(diào)后可以同時得到多個待測玻璃厚度值,經(jīng)加權(quán)平均處理可以提高待測厚度的測量精度.利用這種新方法,通過MATLAB仿真測量了不同玻璃厚度值,結(jié)果表明:該測量結(jié)果的最大相對誤差小于0.008%.