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本文提出了一種多普勒振鏡正弦調(diào)制多光束激光外差測(cè)量玻璃厚度的新方法.基于激光外差技術(shù)和多普勒效應(yīng),通過做簡(jiǎn)諧振動(dòng)的多普勒振鏡對(duì)不同時(shí)刻入射光的頻率進(jìn)行正弦調(diào)制,把待測(cè)厚度信息加載到外差信號(hào)的頻率差中,通過快速傅里葉變換對(duì)外差信號(hào)解調(diào)后可以同時(shí)得到多個(gè)待測(cè)玻璃厚度值,經(jīng)加權(quán)平均處理可以提高待測(cè)厚度的測(cè)量精度.利用這種新方法,通過MATLAB仿真測(cè)量了不同玻璃厚度值,結(jié)果表明:該測(cè)量結(jié)果的最大相對(duì)誤差小于0.008%.