半導(dǎo)體單晶及III-V族化合物合成用的坩堝、基座:

原位合成GaAs、InP、GaP單晶的LEC系列坩堝。

分子束外延用的MBE系列坩堝。

VGF、VB法系列坩堝。

PBN/PG復(fù)合加熱器涂層。

石墨加熱器絕緣涂層。

高溫絕緣流體噴嘴。

MOCVD絕緣板。

異形坩堝及異形石墨件涂層。

晶片退火工藝用復(fù)合加熱器。

材料呈白色，無毒、無孔隙、易加工。

純度高達(dá)99.99%，表面致密，氣密性好。

耐高溫，強(qiáng)度隨溫度升高，2200℃達(dá)到最大值。

耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑，高溫與絕大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體等材料不濕潤、不反應(yīng)。

抗熱震性好，熱導(dǎo)性好，熱膨脹系數(shù)低。

電阻高，介電強(qiáng)度高，介電常數(shù)小，磁損耗角正切低，并具有良好的透微波和紅外線性能。

在力學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)等等性能上有著明顯的各向異性。

?有工業(yè)意義的無機(jī)物熱解反應(yīng)如: 碳酸氫鈉焙燒生成碳酸鈉: 2NaHCO3─→Na2CO3+H2O+CO2 石灰石(碳酸鈣)焙燒生成生石灰(氧化鈣): CaCO3─→CaO+CO2 氧化汞熱解生成元素汞: 2HgO─→O2+2Hg 氯酸鉀熱解生成高氯酸鉀: 4KClO3─→3KClO4+KCl

具有工業(yè)意義的有機(jī)物熱解過程很多，常因具體工藝過程而有不同的名稱。在隔絕空氣下進(jìn)行的熱解反應(yīng)，稱為干餾，如煤干餾、木材干餾;甲烷熱解生成炭黑稱為熱分解;烷基苯或烷基萘熱解生成苯或萘常稱為熱脫烷基(見脫烷基);由丙酮制乙烯酮稱為丙酮裂解等。烴類的熱解過程常區(qū)別為熱裂化和裂解。前者的溫度通常<600℃，其目的是由重質(zhì)油生產(chǎn)輕質(zhì)油，進(jìn)而再加工成發(fā)動(dòng)機(jī)燃料。后者則溫度較高(通常>700℃)，且物料在反應(yīng)器中停留時(shí)間較短，其目的是獲得石油化工的基本原料如乙烯、丙烯、丁二烯、芳烴等。

一般說來，無機(jī)物的熱解反應(yīng)比較簡單;

有機(jī)物熱解時(shí)，由于會(huì)產(chǎn)生副反應(yīng)，產(chǎn)物組成往往比較復(fù)雜。

例如石油烴裂解時(shí)，除獲得低分子量烯烴外，還有因聚合、縮合等副反應(yīng)，而生成比原料分子量更大的產(chǎn)物，如焦油等。熱解過程需要吸收大量熱能。工業(yè)上的供熱方式可分為自熱過程和外熱過程。例如石灰石熱解生成石灰，溫度在800℃以上，甚至在氧存在下也不影響反應(yīng)過程，因此可采用直接煅燒的工業(yè)窯爐進(jìn)行外供熱過程。對于石油餾分的裂解，反應(yīng)溫度在750℃以上，且要求盡可能低的烴分壓，產(chǎn)物為可燃?xì)怏w，因此常用間壁傳熱方式(如管式爐裂解)或由載熱體直接供熱(如蓄熱爐裂解、砂子爐裂解、高溫水蒸氣裂解等)的外熱過程。但也可以用燒去一部分原料進(jìn)行自熱過程，如天然氣或重油部分燃燒熱解制乙炔、炭黑等。由于管式爐裂解制低碳烯烴的優(yōu)越性很多，近代石油烴裂解幾乎都采用此法。