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PMC-421 地下防水施工方案 - 1 - 目 錄 1、編制依據(jù) ................................................................................................... 2 2、材料說明 ................................................................................................... 2 3、施工準(zhǔn)備 ................................................................................................... 3 4、施工操作工藝及技術(shù)要點 ...........................
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TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵信號， Q1是震蕩管，Q4是推動管，Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機(jī) 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下： 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源
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