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研究MEMS穿孔板微執(zhí)行器Pull-in特性,分別推導(dǎo)忽略邊緣效應(yīng)模型和考慮邊緣效應(yīng)模型的穿孔板靜電微執(zhí)行器的Pull-in機(jī)理,并結(jié)合ANSYS軟件有限元法計(jì)算同一器件的Pull-in參數(shù),分析3種模型結(jié)果。得到:不考慮邊緣效應(yīng)影響時(shí),Pullin參數(shù)誤差隨孔大小的減小而增大,隨著初始間距的增大而增大?？紤]邊緣效應(yīng)模型在一定的范圍內(nèi)具有良好的精度。
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